Hoʻonui ʻia ka mālama ʻana i ke kaiapuni, ʻoi aku ka nui o ka piʻi ʻana o ka hau.ʻO ka ʻenekinia lumi maʻemaʻe kekahi o nā ana palekana kaiapuni.Pehea e hoʻohana ai i ka ʻenehana lumi maʻemaʻe e hana i kahi hana maikaʻi i ka mālama ʻana i ke kaiapuni?E kamaʻilio kākou e pili ana i ka hoʻomalu i ka ʻenekinia lumi maʻemaʻe.
Ka mālama ʻana i ka mahana a me ka haʻahaʻa ma ka lumi maʻemaʻe
Hoʻoholo nui ʻia ka mahana a me ka haʻahaʻa o nā wahi maʻemaʻe ma muli o nā koi kaʻina, akā i ka wā e hālāwai ai i nā koi kaʻina hana, pono e noʻonoʻo ʻia ka hōʻoluʻolu kanaka.Me ka hoʻomaikaʻi ʻana i nā koi hoʻomaʻemaʻe ea, aia ke ʻano o nā koi koʻikoʻi no ka mahana a me ka haʻahaʻa i ka hana.
Ma ke ʻano he kumu maʻamau, ma muli o ka piʻi ʻana o ka pololei o ka hoʻoili ʻana, e liʻiliʻi a liʻiliʻi nā koi no ka hoʻololi ʻana o ka mahana.No ka laʻana, ma ke kaʻina hana lithography a me ka hoʻolaha ʻana o ka hana kaapuni hoʻohui nui, ʻoi aku ka liʻiliʻi o ka ʻokoʻa o ka hoʻonui wela ma waena o nā aniani a me nā wafer silika i hoʻohana ʻia ma ke ʻano he mask.
ʻO ka wafer silika me ke anawaena o 100 μm ke kumu o ka hoʻonui laina o 0.24 μm ke piʻi ka mahana ma ka 1 degere.No laila, pono ka mahana mau o ± 0.1 ℃, a haʻahaʻa ka haʻahaʻa haʻahaʻa no ka mea ma hope o ka hoʻoulu ʻana, e haumia ka huahana, ʻoi aku hoʻi i nā hale hana semiconductor makaʻu i ka sodium.ʻAʻole pono kēia ʻano papa hana ma mua o 25 ℃.
ʻO ka haʻahaʻa haʻahaʻa ke kumu o nā pilikia.Ke ʻoi aku ka haʻahaʻa haʻahaʻa ma mua o 55%, e hoʻokumu ʻia ka condensation ma ka pā paipu wai anuanu.Inā loaʻa ia i nā mea kikoʻī a i ʻole nā kaapuni, hiki iā ia ke hana i nā pōʻino like ʻole.Ke 50% ka haʻahaʻa haʻahaʻa, maʻalahi ka ʻōpala.Eia kekahi, ke kiʻekiʻe loa ka haʻahaʻa, e hoʻopili ʻia ka lepo e pili ana i ka ʻili o ka wafer silika ma ka ʻili ma o nā molekele wai i ka lewa, he paʻakikī ke wehe.
ʻO ke kiʻekiʻe o ka haʻahaʻa pili, ʻoi aku ka paʻakikī o ka wehe ʻana i ka adhesion.Eia nō naʻe, inā ʻoi aku ka haʻahaʻa haʻahaʻa ma lalo o 30%, hiki ke hoʻopili maʻalahi ʻia nā ʻāpana ma ka ʻili ma muli o ka hana o ka ikaika electrostatic, a ʻo ka nui o nā mea semiconductor e maʻalahi e haki.ʻO ka pae wela maikaʻi loa no ka hana wafer silika he 35-45%.
Pumi eahoʻomalui loko o ka lumi maʻemaʻe
No ka nui o nā wahi maʻemaʻe, i mea e pale ai i ka pollution o waho mai ke komo ʻana mai, pono e mālama i ke kaomi kūloko (static pressure) ʻoi aku ka kiʻekiʻe ma mua o ke kaomi o waho (static pressure).ʻO ka mālama ʻana i ka ʻokoʻa puʻupuʻu pono e hoʻokō maʻamau i kēia mau loina:
1. Pono e oi ke kaomi ma na wahi maemae mamua o na wahi maemae ole.
2. Pono e oi ke kaomi ma na wahi me ka ma'ema'e ki'eki'e ma mua o ko na wahi e pili ana me ka ma'ema'e ha'aha'a.
3. Pono e wehe ʻia nā puka ma waena o nā keʻena maʻemaʻe i nā lumi me nā pae maʻemaʻe kiʻekiʻe.
ʻO ka mālama ʻana i ka ʻokoʻa kaomi ma muli o ka nui o ka ea hou, e hiki ke hoʻopaʻi i ka leakage o ka ea mai ke āpau ma lalo o kēia ʻokoʻa kaomi.No laila, ʻo ke ʻano kino o ka ʻokoʻa kaomi ʻo ke kūʻē ʻana o ka leakage (a i ʻole infiltration) e kahe ana ka ea ma waena o nā āpau i loko o ka lumi maʻemaʻe.
Ka manawa hoʻouna: Iulai-21-2023