Nā lumi hoʻomaʻemaʻe semiconductor vs. nā lumi lāʻau lapaʻau: ʻO wai ka mea ʻoi aku ka koi?

Ka Mana ʻĀpana: Ke Kaua ʻana i nā Microbes vs. Ka Mana ʻana i ka Lepo

ʻO ka hoʻoweliweli nui loa i nā lumi hoʻomaʻemaʻe lāʻau lapaʻau ka haumia microbial.

Hana pinepine nā ʻāpana ≥5µm ma ke ʻano he mea lawe no ka bacteria a i ʻole ka fungi. I nā wahi koʻikoʻi o ka Papa A, pono e nalowale loa kēia mau ʻāpana. Hoʻomaka kekahi ʻokoʻa i kahi noiʻi piha—inā paha i hana ʻia e ka sterilization lawa ʻole, ka haumia o ka mea hoʻohana, a i ʻole nā ​​​​wahi make o nā lako.

I loko o nā lole semiconductor, ʻo ka ʻenemi maoli nā ʻāpana maikaʻi loa.

Ma nā kikowaena holomua e like me 3nm a i ʻole 5nm, hiki i nā ʻāpana liʻiliʻi e like me 0.1µm a i ʻole 0.05µm ke hoʻopau i ka pono o ke kaapuni. Hiki i kēia mau mea haumia microscopic ke hana i nā kīnā make ma nā wafers. ʻO ka mea hoihoi, ʻoi aku ka liʻiliʻi o nā ʻāpana nui (≥5µm) a nānā pinepine ʻia ma ke ʻano he mau hōʻailona kuhikuhi.

Ma nā huaʻōlelo maʻalahi:

➤Ke hopu nei nā lumi maʻemaʻe lāʻau lapaʻau i nā "mea komo hewa" (nā microorganism).

➤Ke pale aku nei nā lumi maʻemaʻe Semiconductor i ka "lepo" (nā ʻāpana maikaʻi loa).

Hiki i hoʻokahi mea komo hewa ke hana i kahi hanana hoʻoweliweli i ke ola. Hiki i hoʻokahi ʻāpana liʻiliʻi ke hōʻino i kahi ʻāpana.

 

Pahuhopu Koʻikoʻi: Palekana o ka Maʻi vs. Hoʻonui i ka Hua

ʻO ka ʻokoʻa nui ma nā pahuhopu hope loa.

Nā Lumi Hoʻomaʻemaʻe Lāʻau Lapaʻau: Palekana mua

Komo hope loa kēlā me kēia huahana lāʻau i loko o ke kino o ke kanaka. Hiki i kekahi haumia microbial ke alakaʻi i nā hopena olakino koʻikoʻi. No laila, hoʻomalu ʻia nā lumi maʻemaʻe lāʻau lapaʻau e nā lula GMP (Good Manufacturing Practice) paʻa.

Hoʻomalu paʻa ʻia ka hoʻolālā, ka hana, a me ka hōʻoia ʻana. ʻAʻole hiki ke kūkākūkā ʻia ka mālama ʻana.

Nā Lumi Maʻemaʻe Semiconductor: Hua mua

ʻAʻole hiki ke hoʻohaumia ʻia ka haumia ʻole loa i ka hana ʻana o ka semiconductor. Akā, ʻo ka pahuhopu o nā hale hana ke hoʻonui i ka hua—ke kaulike ʻana i ka maʻemaʻe me ka pono o ke kumukūʻai.

Hāʻawi nā kūlana e like me ISO a me SEMI i nā alakaʻi, akā mālama nā ʻoihana i ka maʻalahi e hoʻoponopono i nā palena e pili ana i nā kikowaena hana a me nā noʻonoʻo hoʻokele waiwai.

ʻOkoʻa koʻikoʻi:

➤Pharma: "Hoʻopilikia ka hāʻule ʻana i nā ola."

➤Semiconductor: "He kumukūʻai ke kālā no ka hāʻule ʻana."

 

Ka Mana Kaiapuni: Ka Hoʻokaʻawale vs. Ka Hoʻonui ʻana

Kahe ʻana o ka ea a me ke kaomi

Pono nā lumi maʻemaʻe lāʻau lapaʻau i nā ʻokoʻa kaomi koʻikoʻi (maʻamau 10-15 Pa) e pale aku i ka haumia keʻa. Pono nā ʻōnaehana e hoʻāla i nā alarm i loko o nā minuke inā hāʻule ke kaomi, no ka mea hiki i ke kahe ʻana o ka ea ke hoʻohuli ke hoʻopilikia i nā ʻāpana holoʻokoʻa.

Hoʻoikaika nā hale hana Semiconductor i ke kahe ʻana o ke ea like a me ka pono o ka ikehu. Me ka hoʻohana ʻana i nā ʻōnaehana FFU (Fan Filter Unit), mālama lākou i ke kahe laminar kū pololei me nā gradients kaomi hoʻomaha (2-5 Pa), i hoʻomaikaʻi pinepine ʻia ma o ka hoʻokele alapine loli.

Mahana, Haumākū, a me AMC

I loko o nā wahi lāʻau lapaʻau, kākoʻo nui ka mahana a me ka haʻahaʻa i ka ʻoluʻolu o ka mea hoʻohana a me ka kaohi microbial. ʻOiai he mea nui, he kūpono nā koi kikoʻī.

I loko o nā hale hana semiconductor, he mea koʻikoʻi ke kaohi ʻana i ke kaiapuni i ke kaʻina hana.

ʻo kahi laʻana:

➤Pono paha nā wahi photolithography i 22°C ±0.3°C

➤ʻOiai nā loli liʻiliʻi e hiki ke hoʻopilikia i ka pololei o ka laulā laina

ʻOi aku ka paʻakikī o ka kaohi ʻana o AMC (Airborne Molecular Contamination):

Pono e mālama ʻia nā pae liʻiliʻi o nā waikawa a i ʻole ka ammonia ma nā pae ppb (nā ʻāpana no ka piliona)

➤ʻOiai ka liʻiliʻi o ka haumia kemika hiki ke hoʻopilikia i nā optics lithography a hōʻemi i ka hua

ʻAʻohe nui o kēia pae o ka kaohi kemika i nā lumi hoʻomaʻemaʻe lāʻau lapaʻau.