ʻO ka nui o ka hāʻawi ʻana i ka chip i ka ʻoihana hana IC e pili kokoke ana i ka nui a me ka helu o nā ʻāpana ea i waiho ʻia ma ka chip. Hiki i kahi hui ea ea maikaʻi ke lawe i nā ʻāpana i hana ʻia e ke kumu lepo mai ka lumi maʻemaʻe e hōʻoia i ka maʻemaʻe o ka lumi maʻemaʻe, ʻo ia hoʻi, ʻo ka hui ʻana o ka ea i loko o ka lumi maʻemaʻe e hana koʻikoʻi i ka hopena o ka hana IC. Pono ka hoʻolālā ʻana o ka hui ea i loko o ka lumi maʻemaʻe e hoʻokō i kēia mau pahuhopu: hoʻemi a hoʻopau paha i ka eddy au i ke kahua kahe e pale aku i ka paʻa ʻana o nā mea ʻino; e mālama i kahi gradient puʻe kūpono kūpono e pale ai i ka hoʻohaumia ʻana.
Kaha ea
E like me ke kumu o ka lumi maʻemaʻe, ʻo nā ikaika e hana ana i nā ʻāpana e pili ana i ka ikaika nui, ka ikaika mole, ka huki ʻana ma waena o nā ʻāpana, ka ikaika o ka ea, etc.
ʻO ka ikaika o ka ea: pili i ka ikaika o ka ea i hoʻoiho ʻia e ka hāʻawi ʻana, ka hoʻihoʻi ʻana i ka ea, ka ea convection thermal, ka hoʻoulu ʻana, a me nā kahe ea ʻē aʻe me kahi kahe kahe e lawe i nā ʻāpana. No ka hoʻomalu ʻenehana o ka lumi lumi maʻemaʻe, ʻo ka ikaika o ka ea ka mea nui loa.
Ua hōʻike ʻia nā hoʻokolohua ma ka neʻe ʻana o ka ea, e hahai nā ʻāpana i ka neʻe ʻana o ka ea ma kahi kokoke i ka wikiwiki like. Hoʻoholo ʻia ke kūlana o nā ʻāpana i ka lewa e ka hāʻawi ʻana i ka ea. ʻO nā kahe ea e pili ana i nā ʻāpana o loko ka nui o ka ea ea (me ka ea mua a me ke ea lua), ka ea a me ka ea convection thermal i hoʻokumu ʻia e ka poʻe e hele ana, a me ka ea i hoʻokumu ʻia e ka hana kaʻina hana a me nā lako hana. ʻO nā ʻano hana hoʻolako ea ʻokoʻa, nā pilina wikiwiki, nā mea hoʻohana a me nā mea hana ʻenehana, a me nā mea i hoʻoulu ʻia i loko o nā lumi maʻemaʻe nā mea āpau e pili ana i ka pae maʻemaʻe.
Nā mea e pili ana i ka hoʻonohonoho ʻana i ka ea
1. Ka hopena o ke ala hoʻolako ea
(1). ʻO ka māmā hoʻolako ea
No ka hōʻoia ʻana i ka holo ʻana o ka ea, pono e kūlike ka wikiwiki o ka ea i loko o kahi lumi maʻemaʻe unidirectional; he liʻiliʻi ka ʻāpana make o ka ʻili o ka ea; a ʻo ka hāʻule ʻana o ke kaomi i ka ULPA pono pū kekahi.
ʻO ka wikiwiki o ka hāʻawi ʻana i ka ea like ʻole: ʻo ia hoʻi, mālama ʻia ka ʻole o ka ea i loko o ± 20%.
ʻAʻole pono e hoʻemi ʻia ka ʻāpana mokulele o ke kiʻi ULPA, akā ʻo ka mea nui loa, pono e hoʻohana ʻia ka modular FFU e hoʻomaʻamaʻa i ke kiʻi redundant.
No ka hōʻoia ʻana i ka holo ʻana o ka ea unidirectional, ʻo ke koho hāʻule kaomi o ka kānana he mea koʻikoʻi nō hoʻi, e koi ana ʻaʻole hiki ke haʻalele i ka poho puʻe.
(2). Hoʻohālikelike ma waena o ka ʻōnaehana FFU a me ka ʻōnaehana kahe axial
ʻO ka FFU kahi mea hoʻolako ea me ka peʻahi a me kahi kānana (ULPA). Ma hope o ka omo ʻia ʻana o ka ea e ka peʻa centrifugal o FFU, ua hoʻololi ʻia ke kaomi hoʻoikaika i ke kaomi paʻa i loko o ka pahu ea a puhi ʻia e ULPA. ʻO ke kaomi ʻana o ka ea ma luna o ke kaupaku he ʻinoʻino ia, i ʻole e kahe ka lepo i loko o ka lumi maʻemaʻe ke hoʻololi ʻia ka kānana. Ua hōʻike ʻia nā hoʻokolohua ʻoi aku ka maikaʻi o ka ʻōnaehana FFU ma mua o ka ʻōnaehana axial flow fan ma ke ʻano o ka like ʻana o ka puka makani, ka like like o ka ea a me ka helu kuhikuhi pono o ka ea. ʻO kēia no ka mea ʻoi aku ka maikaʻi o ka like ʻana o ka ea o ka ʻōnaehana FFU. Hiki i ka hoʻohana ʻana i ka ʻōnaehana FFU ke hoʻonohonoho maikaʻi i ka ea i loko o ka lumi maʻemaʻe.
(3). ʻO ka mana o ka hale ponoʻī o FFU
Hoʻokumu nui ʻia ka FFU i nā mea pā, nā kānana, nā mea alakaʻi alakaʻi ea a me nā mea ʻē aʻe. ʻO ka kānana ultra-kiʻekiʻe kiʻekiʻe ʻo ULPA ka hōʻoia nui loa inā hiki i ka lumi maʻemaʻe ke hoʻokō i ka maʻemaʻe e pono ai o ka hoʻolālā. ʻO ka mea o ka kānana e hoʻopili pū i ka kūlike o ke kahua kahe. Ke hoʻohui ʻia kahi mea kānana koʻikoʻi a i ʻole ka pā kahe laminar i ka puka kānana, hiki ke hana maʻalahi ke kahua kahe o ka puka.
2. Ka hopena o nā ʻokoʻa wikiwiki o ka maʻemaʻe
I loko o ka lumi maʻemaʻe like, ma waena o ka wahi hana a me ka wahi hana ʻole o ke kahe unidirectional vertical, ma muli o ka ʻokoʻa o ka wikiwiki o ka ea ma ka puka ULPA, e hana ʻia kahi hopena vortex i hui ʻia ma ka interface, a e lilo kēia ʻāpana i kahi ea hoʻoheheʻe ʻia me ka ikaika nui o ka ea turbulence. Hiki ke hoʻouna ʻia nā ʻāpana i ka ʻili o nā mea hana a hoʻohaumia i nā mea hana a me nā wafers.
3. Ka hopena o nā limahana a me nā mea hana
Ke nele ka lumi maʻemaʻe, ʻo nā hiʻohiʻona kahe o ka ea i loko o ka lumi e hoʻokō maʻamau i nā koi hoʻolālā. Ke komo nā lako i loko o ka lumi maʻemaʻe, neʻe nā limahana a hoʻouna ʻia nā huahana, e ʻike ʻole ʻia nā pilikia i ka hui kahe o ka ea. No ka laʻana, ma nā kihi e kū ana a i ʻole nā kihi o ka mea hana, e hoʻohuli ʻia ke kinoea e hana i kahi ʻāpana kūpilikiʻi, a ʻaʻole hiki ke lawe ʻia ka wai i loko o ka ʻāpana e ke kinoea, no laila e hoʻohaumia ai. I ka manawa like, e wela ka ʻili o nā mea hana ma muli o ka hana mau ʻana, a ʻo ka gradient o ka mahana e hana i kahi reflow zone kokoke i ka mīkini, kahi e hoʻonui ai i ka hōʻiliʻili o nā mea i loko o ka reflow zone. I ka manawa like, ʻo ka wela kiʻekiʻe e maʻalahi i ka pakele ʻana o nā ʻāpana. Hoʻonui ka hopena ʻelua i ka paʻakikī o ka hoʻomalu ʻana i ka hoʻomaʻemaʻe laminar vertical holoʻokoʻa. ʻO ka lepo mai nā mea hana i loko o ka lumi maʻemaʻe e maʻalahi loa e pili i nā wafers i kēia mau wahi reflow.
4. Ka hopena o ka papahele ea hoʻi
Ke ʻokoʻa ke kūʻē ʻana o ka ea hoʻihoʻi e hele ana ma ka papahele, e hana ʻia kahi ʻokoʻa kaomi, no laila e kahe ka ea ma ke ʻano o ka emi ʻana o ke kūʻē, ʻaʻole e loaʻa ka ea like ʻole. ʻO ke ala hoʻolālā kaulana i kēia manawa ʻo ka hoʻohana ʻana i nā papahele kiʻekiʻe. Ke 10% ka wehe ʻana o nā papahele kiʻekiʻe, hiki ke hoʻokaʻawale ʻia ka wikiwiki o ka ea i ke kiʻekiʻe hana o ka lumi. Eia kekahi, pono e nānā pono i ka hana hoʻomaʻemaʻe e hōʻemi i ke kumu pollution o ka papahele.
5. Induction hanana
ʻO ka mea i kapa ʻia ʻo ka induction phenomenon e pili ana i ke ʻano o ke kahe ʻana o ka ea ma ka ʻaoʻao ʻē aʻe o ke kahe ʻokoʻa, a ʻo ka lepo i hana ʻia i loko o ka lumi a i ʻole ka lepo i loko o ka wahi i hoʻopili ʻia e hoʻokomo ʻia i ka ʻaoʻao i luna, i hiki ai i ka lepo ke hoʻohaumia i ka chip. ʻO kēia nā hanana induction hiki ke loaʻa:
(1). Pāpā makapō
I loko o kahi lumi maʻemaʻe me ke kahe unidirectional kū pololei, ma muli o nā hono ma ka paia, aia nā papa makapō nui e hoʻoulu ai i ka haunaele i ke kahe hoʻi kūloko.
(2). Nā kukui
ʻO nā mea hoʻomālamalama i loko o ka lumi maʻemaʻe eʻoi aku ka hopena. No ka mea, ʻo ka wela o nā kukui fluorescent ka mea e piʻi ai ka ea, ʻaʻohe wahi haunaele ma lalo o nā kukui fluorescent. ʻO ka maʻamau, ua hoʻolālā ʻia nā kukui i loko o ka lumi maʻemaʻe i kahi ʻano waimaka e hōʻemi i ka hopena o nā kukui i ka hui ea.
(3.) ʻAha ma waena o nā pā
Ke loaʻa nā āpau ma waena o nā ʻāpana me nā pae maʻemaʻe like ʻole a i ʻole ma waena o nā ʻāpana a me nā kaupaku, hiki ke hoʻoneʻe ʻia ka lepo mai ka wahi me nā koi maʻemaʻe haʻahaʻa i kahi e pili ana me nā koi hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe.
(4). Ka mamao ma waena o ka mīkini a me ka papahele a i ʻole ka paia
Inā liʻiliʻi loa ka ʻokoʻa ma waena o ka mīkini a me ka papahele a i ʻole ka paia, e hoʻoulu hou ʻia ka haunaele. No laila, e waiho i kahi āpau ma waena o nā mea hana a me ka pā a hoʻokiʻekiʻe i ka mīkini e pale i ka ʻae ʻana o ka mīkini i ka lepo.
Ka manawa hoʻouna: Feb-05-2025