ʻO ka nui o ka hua o ka ʻāpana i ka ʻoihana hana IC e pili pono ana i ka nui a me ka helu o nā ʻāpana ea i waiho ʻia ma ka ʻāpana. Hiki i kahi hoʻonohonoho kahe maikaʻi ke lawe i nā ʻāpana i hana ʻia e ke kumu lepo mai ka lumi maʻemaʻe e hōʻoia i ka maʻemaʻe o ka lumi maʻemaʻe, ʻo ia hoʻi, ʻo ka hoʻonohonoho kahe i loko o ka lumi maʻemaʻe e pāʻani i kahi kuleana koʻikoʻi i ka nui o ka hua o ka hana IC. Pono ka hoʻolālā o ka hoʻonohonoho kahe i loko o ka lumi maʻemaʻe e hoʻokō i nā pahuhopu penei: hōʻemi a hoʻopau paha i ke au eddy i ke kahua kahe e pale aku i ka paʻa ʻana o nā ʻāpana ʻino; mālama i kahi gradient kaomi maikaʻi kūpono e pale aku i ka haumia kea.
Ka ikaika o ke kahe ʻana o ka ea
Wahi a ke kumumanaʻo lumi maʻemaʻe, ʻo nā mana e hana ana ma nā ʻāpana e komo pū me ka ikaika nui, ka ikaika molekala, ka huki ʻana ma waena o nā ʻāpana, ka ikaika o ke kahe ʻana o ka ea, a me nā mea ʻē aʻe.
Ka ikaika o ke kahe ʻana o ka ea: pili i ka ikaika o ke kahe ʻana o ka ea i hoʻokumu ʻia e ka lawe ʻana, ke kahe ʻana o ka ea hoʻihoʻi, ke kahe ʻana o ka convection thermal, ka hoʻoulu ʻana i ka hana, a me nā kahe ʻana o ka ea ʻē aʻe me kahi kahe e lawe ai i nā ʻāpana. No ka kaohi ʻenehana o ke kaiapuni lumi maʻemaʻe, ʻo ka ikaika o ke kahe ʻana ka mea nui loa.
Ua hōʻike ʻia nā hoʻokolohua i ka neʻe ʻana o ke ea, hahai nā ʻāpana i ka neʻe ʻana o ke ea ma ka wikiwiki like. Hoʻoholo ʻia ke kūlana o nā ʻāpana i ka lewa e ka hoʻolaha ʻana o ke ea. ʻO nā ea e hoʻopilikia i nā ʻāpana o loko e komo pū ana me: ke ea hoʻolako ea (me ke ea mua a me ke ea lua), ke ea a me ke ea convection thermal i hoʻokumu ʻia e ka poʻe e hele wāwae ana, a me ke ea i hoʻokumu ʻia e ka hana hana a me nā lako ʻoihana. ʻO nā ʻano hoʻolako ea like ʻole, nā pilina wikiwiki, nā mea hoʻohana a me nā lako ʻoihana, a me nā hanana i hoʻokomo ʻia i loko o nā lumi maʻemaʻe he mau mea ia e hoʻopilikia ana i ka pae maʻemaʻe.
Nā mea e pili ana i ka hoʻonohonoho ʻana o ke kahe ʻana o ka ea
1. Ka mana o ke ʻano hoʻolako ea
(1). Ka wikiwiki o ka lako ea
I mea e hōʻoia ai i ke kahe ʻana o ke ea like, pono e like ka wikiwiki o ka lako ea i loko o kahi lumi maʻemaʻe hoʻokahi kuhikuhi; pono e liʻiliʻi ka ʻāpana make o ka ʻili lako ea; a pono hoʻi e like ka emi ʻana o ke kaomi ma ka ULPA.
ʻO ka wikiwiki o ka hoʻolako ea like: ʻo ia hoʻi, ua kāohi ʻia ka like ʻole o ke kahe ʻana o ka ea i loko o ± 20%.
ʻO ka emi ʻana o ka ʻāpana make ma ka ʻili o ka lako ea: ʻaʻole wale ka ʻāpana mokulele o ka mōlina ULPA e hoʻemi ʻia, akā ʻoi aku ka mea nui, pono e hoʻohana ʻia ka FFU modular e hoʻomaʻalahi i ka mōlina keu.
No ka hōʻoia ʻana i ke kahe ʻana o ke ea i hoʻokahi kuhikuhi kū pololei, he mea nui loa nō hoʻi ke koho ʻana i ka hāʻule ʻana o ke kaomi o ke kānana, e koi ana ʻaʻole e huli aʻe ka pohō kaomi i loko o ke kānana.
(2). Hoʻohālikelike ma waena o ka ʻōnaehana FFU a me ka ʻōnaehana peʻahi kahe axial
He ʻāpana hoʻolako ea ʻo FFU me kahi peʻahi a me kahi kānana (ULPA). Ma hope o ka omo ʻia ʻana o ka ea e ka peʻahi centrifugal o FFU, hoʻololi ʻia ke kaomi dynamic i kaomi static i loko o ka duct ea a puhi like ʻia e ULPA. ʻO ke kaomi hoʻolako ea ma ke kaupaku he kaomi maikaʻi ʻole, no laila ʻaʻohe lepo e kahe i loko o ka lumi maʻemaʻe ke hoʻololi ʻia ke kānana. Ua hōʻike ʻia nā hoʻokolohua he ʻoi aku ka maikaʻi o ka ʻōnaehana FFU ma mua o ka ʻōnaehana peʻahi kahe axial ma ke ʻano o ka like ʻana o ka puka ea, ka parallelism airflow a me ka helu kuhi pono o ka ventilation. ʻO kēia no ka mea ʻoi aku ka maikaʻi o ka parallelism airflow o ka ʻōnaehana FFU. Hiki i ka hoʻohana ʻana i ka ʻōnaehana FFU ke hoʻonohonoho maikaʻi i ka airflow i loko o ka lumi maʻemaʻe.
(3). Ka mana o ke ʻano o ka FFU ponoʻī
ʻO ka FFU ka mea nui i haku ʻia me nā mea pā, nā kānana, nā mea alakaʻi ea a me nā ʻāpana ʻē aʻe. ʻO ka kānana pono kiʻekiʻe loa ULPA ka hōʻoia koʻikoʻi no ka hiki i ka lumi maʻemaʻe ke hoʻokō i ka maʻemaʻe e pono ai o ka hoʻolālā. E hoʻopilikia pū ka mea o ke kānana i ke ʻano like o ke kahua kahe. Ke hoʻohui ʻia kahi mea kānana coarse a i ʻole kahi papa kahe laminar i ka puka kānana, hiki ke maʻalahi ke hana like i ke kahua kahe puka.
2. Ka hopena o nā ʻano wikiwiki like ʻole o ka maʻemaʻe
Ma ka lumi maʻemaʻe like, ma waena o ka wahi hana a me ka wahi hana ʻole o ke kahe unidirectional kū pololei, ma muli o ka ʻokoʻa o ka wikiwiki o ka ea ma ka puka ULPA, e hoʻoulu ʻia kahi hopena vortex hui ʻia ma ka interface, a e lilo kēia interface i wahi kahe ea turbulent me ka ikaika turbulence ea kiʻekiʻe loa. Hiki ke hoʻouna ʻia nā ʻāpana i ka ʻili o nā lako a hoʻohaumia i nā lako a me nā wafers.
3. Ka hopena o nā limahana a me nā lako
Ke hakahaka ka lumi maʻemaʻe, kūlike nā ʻano o ke kahe ʻana o ka ea i loko o ka lumi i nā koi hoʻolālā. Ke komo nā lako i loko o ka lumi maʻemaʻe, neʻe nā limahana a hoʻouna ʻia nā huahana, e loaʻa nā keʻakeʻa i ka hoʻonohonoho ʻana o ke kahe ʻana o ka ea. No ka laʻana, ma nā kihi a i ʻole nā lihi o nā lako e puka mai ana, e hoʻohuli ʻia ke kinoea e hana i kahi ʻāpana haunaele, a ʻaʻole hiki ke lawe maʻalahi ʻia ke wai i loko o ka ʻāpana e ke kinoea, a laila e hoʻoulu ai i ka haumia. I ka manawa like, e wela ka ʻili o nā lako ma muli o ka hana mau, a ʻo ka gradient mahana e hana i kahi reflow zone kokoke i ka mīkini, kahi e hoʻonui ai i ka hōʻiliʻili ʻana o nā ʻāpana i loko o ka reflow zone. I ka manawa like, e maʻalahi ka mahana kiʻekiʻe e hoʻokuke i nā ʻāpana. Hoʻonui ka hopena pālua i ka paʻakikī o ka kaohi ʻana i ka maʻemaʻe laminar vertical holoʻokoʻa. He maʻalahi loa ka lepo mai nā mea hana i loko o ka lumi maʻemaʻe e hoʻopili i nā wafers i loko o kēia mau reflow zone.
4. Ka hopena o ka papahele ea hoʻi
Ke ʻokoʻa ke kū'ē ʻana o ka ea hoʻi e hele ana ma ka papahele, e hana ʻia kahi ʻokoʻa kaomi, i kahe ai ka ea ma ke kuhikuhi o ka kū'ē liʻiliʻi, a ʻaʻole e loaʻa ke kahe ʻana o ke ea like. ʻO ke ʻano hoʻolālā kaulana o kēia manawa, ʻo ia ka hoʻohana ʻana i nā papahele kiʻekiʻe. Ke 10% ka nui o ka wehe ʻana o nā papahele kiʻekiʻe, hiki ke hoʻokaʻawale like ʻia ka wikiwiki o ke kahe ʻana o ke ea ma ke kiʻekiʻe hana o ka lumi. Eia kekahi, pono e uku pono ʻia ka hana hoʻomaʻemaʻe e hōʻemi i ke kumu haumia o ka papahele.
5. Ka hanana hoʻokomo
ʻO ka mea i kapa ʻia ʻo ka hanana induction e pili ana i ka hanana e hana ʻia ai ke kahe ʻana o ke ea ma ke ʻaoʻao ʻē aʻe o ke kahe like, a ʻo ka lepo i hana ʻia i loko o ka lumi a i ʻole ka lepo ma kahi haumia e pili ana e hoʻoulu ʻia i ka ʻaoʻao makani i luna, i hiki ai i ka lepo ke haumia i ka ʻāpana. Eia nā hanana induction hiki ke hana ʻia:
(1). Papa makapō
I loko o kahi lumi maʻemaʻe me ke kahe hoʻokahi kuhikuhi kū pololei, ma muli o nā hono ma ka paia, aia nā papa makapō nui e hoʻoulu ai i ka haunaele i ke kahe hoʻi kūloko.
(2). Nā kukui
ʻOi aku ka hopena o nā kukui uila i loko o ka lumi maʻemaʻe. Ma muli o ka wela o nā kukui fluorescent e hoʻonui ai i ke kahe ʻana o ka ea, ʻaʻohe wahi haunaele ma lalo o nā kukui fluorescent. Ma ke ʻano laulā, ua hoʻolālā ʻia nā kukui i loko o ka lumi maʻemaʻe i ke ʻano o ka waimaka e hōʻemi i ka hopena o nā kukui i ka hoʻonohonoho ʻana o ke kahe ʻana o ka ea.
(3.) Nā hakahaka ma waena o nā paia
Ke loaʻa nā hakahaka ma waena o nā pāhele me nā pae maʻemaʻe like ʻole a i ʻole ma waena o nā pāhele a me nā kaupaku, hiki ke hoʻoili ʻia ka lepo mai ka wahi me nā koi maʻemaʻe haʻahaʻa i ka ʻāina e pili ana me nā koi maʻemaʻe kiʻekiʻe.
(4). Ka mamao ma waena o ka mīkini a me ka papahele a i ʻole ka paia
Inā liʻiliʻi loa ka hakahaka ma waena o ka mīkini a me ka papahele a i ʻole ka paia, e hoʻoulu ai i ka turbulence rebound. No laila, e waiho i kahi hakahaka ma waena o nā lako a me ka paia a hāpai i ka mīkini i ʻole e hoʻopā pololei ka mīkini i ka lepo.
Ka manawa hoʻouna: Pepeluali-05-2025